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DIC 2024展商丨南京華易泰，推動顯示面板工藝設備本土化

2024-02-20 11:39:00

公司簡介

COMPANY

01

一南京華易泰電子科技有限公司一

展位號：7D62

南京華易泰電子科技有限公司于2020年2月成立于南京市江北新區智能制造產業園，致力于顯示面板、半導體、新能源行業的工藝設備國產化。華易泰的主營產品分為AMHS（自動化物料搬運系統）、WET（濕制程）設備、CCSS（高純介質供應系統）三大類，堅持百分百自主研發、設計、制造，是一家具備高新技術企業資質及多項行業認證資格的高精密設備研發制造企業，基于客戶需求提供具體的系統解決方案及優質的售后服務。成立至今，已與天馬集團、上海格科、綿陽惠科、昆山國顯等多家國內外知名企業建立合作關系。

推薦產品

PRODUCT

02

01

Stocker（潔凈型堆垛機）

主要應用于TFT-LCD/OLED/AMOLED行業，實現載有玻璃基板的卡匣的自動化搬運與存儲，可對接OHCV、MGV、AGV等設備。

① 四驅動方式搬送，搬送能力更強，更穩定可靠；

② 自主研發新型Fork專利技術，自動校對卡匣位置；

③ BCR+磁柵尺機械結構，精確確認Crane位置信息；

④ Arm采用雙驅動+非動力傳動方式，空間小、精度高；

⑤ CPS非接觸式電源供電，效率高、壽命長、靈活度高。

02

OHT（空中走形式無人搬運車）

全稱為Overhead Hoist Transport，主要應用于半導體6-12英寸晶圓廠、封測廠，用于空中自動搬送晶圓載具（FOUP/SMIF POD/Cassette/Magazine等）。

① 自主研發單驅動多層取料專利技術，空間小、精度高；

② 物料抓取防晃動設計，準確定位并抓取物料，穩定性高；

③ CPS非接觸式電源供電，效率高、壽命長、靈活度高；

④ BCR實時確認Shuttle位置信息，實現與CIM的實時通信；

⑤ 采用安全觸邊傳感器，緩沖器，鐳射傳感器等防護措施，調整穿梭速度，防止碰撞。

03

Cleaner（清洗機）

主要應用于顯示面板生產工廠，達到去除玻璃基板表面的異物和顆粒的目的。

① 自主研發雙刀縫新型風刀，無水殘、干燥效果好；

② 水平傳送、傾斜傳送、90°轉角傳送等多種傳送方式可選；

③ 搭配AP Plasma/EUV，素玻璃接觸角<5°，進行有機物清潔；

④ 廠務純水直供和設備循環供給相結合，純水用量低、效率高；

⑤ 使用毛刷、二流體噴淋、超聲波清洗等清洗方式，實現＜3μm的顆粒去除。

04

Etcher（刻蝕機）

主要應用于顯示面板生產工廠，利用化學藥液將基板上面的金屬薄膜按照特定的圖案去除。

① 穩定可控的溫度控制系統，定向管控工藝溫度；

② 多角度搖擺噴淋方式，蝕刻均勻性高、藥液利用率高；

③ 搭配EMS藥液分析系統，實時在線精準把控藥液成分；

④ 觸摸屏+PLC控制安全保護，具有液位保護、漏液漏電保護等；

⑤ 穩定高速的藥液置換供給系統，實現不停機藥液供給的置換，產能高、藥液利用率高。

05

CDS（化學品供給系統）

全稱為Chemical Dispense System，主要用于顯示面板及芯片加工工廠，供給酸、堿、有機等化學品至相關設備。

① 雙桶設計，自動切換，Drum自循環預過濾功能；

② Drum區域配置HEPA，保證在更換酸桶時維持正壓；

③ Drum及Tank氮封設計，防止空氣接觸至化學品造成污染；

④ 配置手動撥鈕開關，PLC故障時可手動強制供應；

⑤ 主部件N+1配置，穩定性好、效率高。

06

SDS（研磨液供給系統）

全稱為Slurry Dispense System，主要用于顯示面板及芯片加工工廠，供給高純度化學品以研磨面板或芯片，并集中回收化學品液體。

① 雙桶設計，自動切換，Drum自循環預過濾功能；

② 自備循環擾流功能，避免研磨液結晶和沉淀；

③ Drum及Tank氮封設計，防止空氣接觸至化學品造成污染；

④ 配置手動撥鈕開關，PLC故障時可手動強制供應；

⑤ 主部件N+1配置，穩定性好、效率高。

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